中華人民共和國國家軍用標準
FL ?0110
GJB???3007A-2009
代替?GJB???3007-1997
防靜電工作區技術要求
Requirements for electrostatic discharge protected area
2009-05-25發布??????????????????????????????????2009-08-01?實施
中國人民解放軍總裝備部批準
標準資料網WWW.PV265.COM
GJB????3007A-2009
前????言
本標準是對GJB???3007-1997《防靜電工作區技術要求》的修訂。本標準與GJB????3007-1997《防靜電?工作區技術要求》相比,主要有下列變化:
e)4.5 ?????中的部分主要技術指標如系統電阻、點對點電阻、表面電阻、體積電阻、靜電衰減期、離?子靜電消除系統(器)性能的檢測方法和技術指標作了適當的改進和補充。
本標準代替并廢止?GJB??3007-1997。
本標準由中國人民解放軍總裝備部電子信息基礎部提出。
本標準起草單位:信息產業部電子第四研究所、信息產業部防靜電產品質量監督檢驗中心、軍械工?程學院靜電與電磁防護研究所、總參謀部電磁頻譜管理中心、總后勤部指揮自動化站、中國航天標準化?研究所、浙江三威防靜電裝備有限公司、廣州匯安科技有限公司、上海陽森精細化工有限公司、江陰市?宏創建材有限公司、浙江金華天開電子有限公司、中國電子基礎產品裝備公司。
本標準主要起草人:孔??斌、孫延林、魏光輝、張??戈、肖凱寧、張小達、莊載榮、傅??樂、?馬敏生、姜俊平、劉??斌、范通川、孫留坤、楊樹芬、嚴明霞。
GJB??3007-1997于1997年11月5日第一次發布。
I
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防靜電工作區技術要求
1??范圍
本標準規定了國防電子工業防靜電工作區設計、建造、使用和軍用裝備應具備的防靜電技術要求。 本標準適用于下列范圍:
2??引用文件
下列文件中的有關條款通過引用而成為本標準的條款。凡注日期或版次的引用文件,其后的任何修?改單(不包括勘誤的內容)或修訂版本都不適用于本標準,但提倡使用本標準的各方探討使用其最新版本?的可能性。凡不注日期或版次的引用文件,其最新版本適用于本標準。
GB ???9228-1988???靜止型放射性靜電消除器
GB/T ?15463????靜電安全名詞術語
GB???50169-1992 ???電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規范
GB???50174-1993???電子計算機機房設計規范
GB???50343-2004 ???建筑物電子系統防雷技術規范
GJB???1210-1991 ???接地、搭接和屏蔽設計的實施
GJB???1649-1993 ???電子產品防靜電放電控制大綱
GJB???2605-1997????可熱封柔韌性防靜電阻隔材料規范
GJB/Z???86-1997????防靜電包裝手冊
GJB/Z ???105-1998 ???電子產品防靜電放電控制手冊
SJ/T ???10694-2006 ???電子產品制造與應用系統防靜電檢測通用規范
SJ/T ???10796-2001 ???防靜電活動地板通用規范
SJ/T ???11236-2001 ???防靜電貼面板通用規范
SJ/T???11277-2002 ???防靜電周轉容器通用規范
SJ/T???11294-2003 ???防靜電地坪涂料通用規范
SJ/T ??31469-2002????防靜電地面施工及驗收規范
3??術語、定義和縮略語
3.1??術語和定義
GB/T15463 ?確立的以及下列術語和定義適用于本標準。
防靜電工作區??electrostatic?discharge?protected?area
配備各種防靜電裝備(用品)和設置接地系統(或等電位連接)、能限制靜電電位、具有確定邊界和專?門標記的場所。
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GJB????3007A-2009
3.2??縮略語
下列縮略語適用于本標準。
ESDS一靜電放電敏感(的)(electrostatic?discharge?sensitive)
EPA一防靜電工作區(electrostatic?discharge?protected?area)
EBP—接地連接點(earth?bonding?point)
ESD一靜電放電(electrostatic?discharge)
4??技術要求
4.1??一般要求
EPA內的一般要求如下:
a)EPA????內所有金屬導體、儀器設備、防靜電裝備、人員應接地,宜和其他各類接地共用一個接地?體。對于已設置的獨立防雷接地系統,或與EPA?接地系統之間距離小于GB????50169-1992第?5?章要求范圍,則應按GB???50343-2004 規定在獨立防雷接地系統和?EPA 接地系統之間采取防雷?電反擊措施。
4.2??標記
4.2.1??靜電放電敏感符號及使用
靜電放電敏感符號的式樣、顏色和尺寸以及其簡化符號式樣,應符合GJB ???1649-1993附錄C?的規定。
EPA?標記符號式樣如圖1所示,其最小尺寸為300mm×150mm?。 標記顏色應采用黃底黑色。
圖?1??EPA 標記符號式樣
無論屬于哪一種EPA?區域,它都必須是一個具有明確劃定邊界(例如,在一寬大的廠房內可使用寬?度為50mm 的黃色警示標志線,將?EPA?劃定)的場所,并具有為完成其功能所必需的儀器、設備和器材。?一般應在EPA?入口處附近的明顯位置貼有靜電放電敏感符號。
2
在EPA?內接受加工、裝聯或在?EPA?內進行包裝、貯存的ESDS?產品,在產品和內包裝上應貼有靜?電放電敏感符號。
軍事場所的?EPA,??靜電放電敏感標記的使用,可根據實際情況決定。
4.2.2??接地連接點符號及使用
EPA?內的接地連接點符號式樣如圖2所示,其尺寸的大小應能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨?認。標記顏色應采用黃底黑色。
圖?2??接地連接點符號式樣
在?EPA?內的供接地用的連接點,應貼有接地連接點符號標記。
軍事場所的EPA,EBP???符號標記的使用,可根據實際情況決定。
4.3??環境條件
4.3.1??溫度和濕度
一?般?EPA??內應裝設有溫度調節裝置,以維持其室溫在16℃~28℃的范圍內。溫度變化率小于?5℃/h?并不得結露。采用準確度優于1.0℃的溫度計測量EPA?的室溫。
一般?EPA?內應裝設有濕度調節裝置,保持其室內相對濕度在45%~75%范圍內。采用準確度優于?3%的濕度計測量EPA?內的濕度。
對于有不同要求和軍事場所的EPA, ??溫、濕度應符合相關規范要求。
4.3.2??潔凈度
一般?EPA?內的空氣含塵濃度應符合GB????50174-1993中3.1.5的要求。
對于有不同要求和軍事場所的?EPA,??潔凈度應符合相關規范要求。
4.3.3??環境電磁場
一?般EPA?內環境電磁場強度應符合?GB???50174-1993中3.2.2的要求。
軍事場所的EPA, ??電磁場防護要求應符合相關規范要求。
4.4??接地
EPA?內接地系統設置應根據不同場所EPA?要求,按照GB??50169-1992中4至6章要求。
4.4.1 ?????EPA?內防靜電接地
4.4.1.1??接地設置一般要求
EPA 內的接地應滿足以下要求:
c)EPA???內每個防靜電裝備的接地線應獨立與接地系統連接,不允許多個防靜電裝備串聯接地。
3
4.4.1.2????????有特殊要求的EPA 接地
有特殊要求的EPA?應滿足以下要求:
4.4.2??接地電阻測量
接地系統的接地電阻測量方法應符合SJ/T ???10694-2006中6.2的要求。
4.5 ????EPA內防靜電裝備(包括地坪、墻面)的配置要求和測試方法
4.5.1??總則
EPA?內使用的防靜電裝備(用品)防靜電技術指標測試方法應符合SJ/T ???10694-2006第6至10章要?求。軍事場所EPA?可根據實際情況選擇執行。
4.5.2??防靜電工作臺(桌)
防靜電工作臺(桌)面應采用導靜電、靜電耗散材料制成并采取軟接地,臺(桌)面不宜使用金屬板制?作。EPA?內不宜將防靜電地坪表面作防靜電工作臺(桌)接地連接線。工作臺(桌)面的技術指標見表1。
4.5.3??防靜電地坪、地板(地墊)
4.5.3.1??一般防靜電地坪(材料)宜采用靜電耗散材料制作。地坪內應設置接地網絡并良好接地。每一?個獨立的工作區地坪接地點不應少于兩個。對于接觸靜電敏感度在-100V~100V 之間的ESDS?產品的?EPA,??地坪應使用導靜電型材料。使用導靜電材料(包括金屬材料)時,環境電氣設備設計和設置必須符 合人身安全的有關規定。
4.5.3.2??防靜電地墊(地毯)可用導靜電或靜電耗散材料制作并采取接地措施。
4.5.3.3 ??????EPA內使用的高架活動地板的技術指標應符合SJ/T ????10796-2001第6章要求,并與防靜電接?地相接。
防靜電地坪涂料的技術指標應符合SJ/T ????11294-2003第5章要求,防靜電PVC?地板磚技術指標應
符合?SJ/T ???11236-2001?第4章要求。防靜電地坪施工應符合SJ/T ???31469-2002?第3至6章要求。
防靜電地坪地板(地墊)的技術指標見表1。
4.5.4??防靜電腕帶、鞋束(鞋)
EPA 內的人員直接或間接接觸ESDS?產品操作時,應使用與防靜電地線相連接的防靜電腕帶或鞋束
4
(鞋)。使用導靜電鞋時,EPA?內環境電氣設備設計和設置必須符合人身安全的有關標準規定。
EPA?內的防靜電工作臺(桌)、設備機架上應安置接地的腕帶插孔。
防靜電腕帶、鞋束(鞋)的技術指標見表1。
4.5.5??座椅和運轉車
座椅和運轉車的支腳或腳輪用靜電耗散(導靜電)材料制作。座椅表面用靜電耗散材料制作并與腳輪?構成電氣連接。運轉車和椅架可用金屬材料制作。
座椅、運轉車的技術指標見表1。
表?1??EPA 防靜電要求一覽表
項目名稱 | 檢測指標 | 單位 | 技術指標要求 |
防靜電接地電阻 | 接地電阻 | Ω | <100 |
E?P?A?靜?電?電?位 | 空間對地電位 | V | ≤100 |
進入EPA人員的人體對地電阻6 | 系統電阻(對地電阻) |
Ω |
1.0×10?~1.0×10????????靜電耗散型 |
≤1.0×10?????????????????????導靜電型 | |||
各類工作臺面(墊) | 系統電阻(對地電阻) | Ω | 1.0×10?~1.0×10? |
衰減期 | s | ≤2(1000V~100V) | |
各類地面、地墊 | 系統電阻(對地電阻) |
Ω |
1.0×10?~1?.0×10?靜電耗散型 |
<1.0×10??????????????????導靜電型 | |||
腕帶穿戴下電阻 | 系統電阻(對地電阻) | Ω | 7.5×10?~1.0×10? |
腕帶內表面對電纜扣電阻 | 點對點電阻 | Ω | ≤1×10? |
腕帶連接電纜兩端電阻 | 點對點電阻 | Ω | 7.5×10?~1×102 |
工作鞋(鞋底) | 系統電阻(對地電阻) |
Ω |
1.0×10?~1.0×10? ??????靜電耗散型 |
≤1.0×10? ??????????????????導靜電型 | |||
鞋束(襪) | 點對點電阻 |
Ω |
1.0×10?~1.0×10? ?????靜電耗散型 |
≤1.0×10????????????????????導靜電型 | |||
座椅和運轉車 | 系統電阻(對地電阻) | Ω | ≤1.0×10? |
電離器(離子槍、離子柵) |
衰減期 | S | <20(1000V~100V) |
平衡電壓 |
V |
≤50(單臺消除器) | |
<100(EPA環境整體) | |||
手套、指套 | 點對點電阻 | Ω | 1.0×10?~1.0×10? |
衰減期 | s | ≤2(1000V~100V) | |
帽 | 點對點電阻 | Ω | 1.0×10?~1.0×1010 |
各類墻面、天花板 | 系統電阻(對地電阻) | Ω | ≤1.0×101 |
工位器具(吸錫器、刷、氣動工具?等、存放架、傳遞用品等) | 點對點電阻 | Ω | ≤1.0×10? |
衰減期 | S | ≤2(1000V~100V) | |
各類防靜電周轉箱
(盒、托盤、發泡海綿)8 |
衰減期 | S | ≤2(1000V~100V) |
表面電阻率 | Ω/□ | ≤1.0×10??????????????????????導靜電型 | |
1.0×10?~1.0×101??靜電耗散型 | |||
防靜電蠟、膠(施工后) | 表面電阻 | Ω | 1.0×10?~1.0×10? |
5
表1(續)
項目名稱 | 檢測指標 | 單位 | 技術指標要求 |
傳輸帶 | 系統電阻(對地電阻) | Ω | 1.0×10?~1.0×10? |
工作服 | 電荷量 | 微庫/件 | ≤0.1(A級) |
<0.6(B級) | |||
窗簾 | 點對點電阻 | Ω | 1.0×10?~1.0×101? |
衰減期 | S | ≤2(1000V~100V) | |
柔韌性包裝類 |
衰減期 | S | ≤2(1000V~100V) |
靜電屏蔽性能 | V | <30 | |
表面電阻率 | 2/□ | 1.0×10?~1.0×101???(內表面) | |
<1.0×1012???????????(外表面) | |||
集成電路包裝管 | 摩擦電壓 | V | ≤50 |
帶電量 | nC | ≤0.05 | |
烙鐵、焊接設備對地之間電阻 | 接地電阻 | Ω | <20 |
所測值僅限第4.5.14條所說情況。
6當EPA為導靜電地坪時,人體對地電阻不大于1.0×10?Ω2;為靜電耗散地坪時,人體對地電阻1.0×10?~ 1.0×10? Ω。 C對于工作臺,只測臺面對地之間電阻,不測靜電衰減期。 地坪使用靜電耗散材料時對地電阻1.0×10?~1.0×10?Ω。如用導靜電材料時,對地電阻:<1.0×10?Ω。?°防靜電鞋底對地電阻值:靜電耗散型鞋1.0×10?~1?.0×10?Ω,導靜電鞋則小于1.0×10?Ω。 離子靜電消除器(離子槍、離子柵)的平衡電壓小于50V。EPA的整體環境的平衡電壓小于100V。 8本測試數據按照SJ/T 11277-2002給出,如用戶有不同要求時也可按照GJB 2605-1997表1數據測試。 表中凡采用靜電衰減期方法測試,應采用合適的靜電帶電方式。 |
4.5.6??離子靜電消除器(電離槍、離子柵)
使用離子靜電中和措施時,操作和接觸ESDS?產品的位置應處于離子靜電消除器(電離槍)有效工作?距離之內。
EPA?內整體環境采取離子靜電中和系統時,所有區域應置于離子靜電中和系統有效防護之內。
離子靜電消除器(離子槍)、EPA?整體環境離子靜電中和系統消除靜電能力和平衡電壓的技術指標符 合表1要求。
4.5.7??手套、指套、帽、襪、工具(刷)
在?EPA?內使用的手套、指套、帽、襪、工具(刷)應具有防靜電性能,同時符合有關潔凈方面的規 定。不宜使用金屬材料制作的各類工具直接接觸?ESDS?產品。
上述用品的技術指標見表1。
4.5.8??墻壁、天花板
EPA內墻壁、天花板宜采用靜電耗散材料施工,并采取接地措施。防靜電墻壁、天花板技術指標符?合表1要求。墻壁使用金屬材料時,環境電氣設備設計和設置必須符合人身安全有關規定。
4.5.9??工位器具、存放架、物流傳遞器具
在?EPA?內使用的工位器具、存放架、物流傳遞器具的防靜電性能應符合表1要求。
不宜使用金屬材料制作的工位器具、物流傳遞器具直接接觸?ESDS?產品。
4.5.10??防靜電蠟、膠
在?EPA?內使用的防靜電蠟、膠的防靜電性能符合表1要求。
4.5.11??工位傳輸帶
EPA?內使用的工位傳輸帶應具有防靜電性能和耐污性能。傳輸帶和采取防靜電接地措施的金屬皮帶
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GJB?3007A-2009
輪軸緊密接觸構成靜電泄放通路。
傳輸帶技術指標見表1。
4.5.12??服裝、窗簾
在?EPA?內,操作人員穿用的工作服應具有防靜電性能。直接或間接接觸?ESDS?產品的人員穿用的?防靜電服測試帶電量不應超過0.1微庫/件,其他情況則不應超過0.6微庫/件。純棉工作服在相對濕度?低于40%的環境中,不能作防靜電工作服使用。在使用工作服時,嚴禁在?EPA?區域內穿脫。工作服結?構根據使用情況可以設計成“三緊式”或白大褂式等,技術指標見表1。?EPA 內所用防靜電窗簾的技術 指標見表1。
4.5.13??包裝
在?EPA內,操作、運輸、包裝、貯存ESDS?產品時必須使用防靜電包裝(周轉箱、盒、袋、集成電?路包裝管、其他各類包裝)。其防靜電技術指標應分別符合GJB??2605-1997?表 1?和SJ/T 11277-2002中 5.3的要求。各類防靜電包裝的使用及注意事項應按照GJB/Z ???86-1997中5.4的要求。各類防靜電包裝?的指標見表1。
各類防靜電包裝容器內層宜使用靜電耗散材料,不應使用金屬材料或表面電阻小于1.0×103Ω的其?他材料。
4.5.14??氣動工具、電池動力工具、焊接設備(烙鐵)、吸錫器
EPA??內使用焊接設備應采取接地措施。焊接設備的焊頭與接地極之間的電阻值小于20Ω。對于?A?級 EPA ?內產品的焊接應使用專用防靜電烙鐵(或斷電焊接)。使用的吸錫器、氣動(電池動力)工具也應 予以接地。吸錫頭、氣動工具、電池動力工具表面對地電阻不大于1.0×10?Ω。
用高溫烘箱處理 ESDS??產品時,應將產品放入耐高溫的靜電防護包裝內或接地的導電金屬盒(箱)
內進行。
EPA??內,在操作和放置 ESDS?產品的位置附近擱置有直流高壓設備(陰極射線管顯示屏、電源等)?且在距產品放置位置300mm?距離內測量靜電電壓值在-100V~100V 之間時,應對高壓設備采取靜電屏?蔽措施。
4.6??技術管理要求
4.6.1??人員培訓
凡進入?EPA?或和其有關的工作人員,需先經過基本防靜電知識的培訓并經考核通過后,方可獲得 進入?EPA?的資格。沒有取得資格的人進入EPA?時,應有通過考核的人陪同。操作人員應掌握各類防靜?電裝備(用品)的使用知識和注意事項,同時也應掌握防靜電操作工藝方面的知識。基本防靜電知識的培?訓應按照GJB/Z ???105-1998附錄A?、C?、E?、F?、H?、J?等進行。
4.6.2??靜電源控制
4.6.2.1 ??????在?EPA內,不宜放置易于產生靜電的材料制品,例如:普通塑料、橡膠、合成纖維等制品、?普通服裝、包裝等。
4.6.2.2 ??????在?EPA?內,不允許沒采取防靜電措施的人接觸ESDS?產品。
4.6.2.3??在環境、工藝條件允許情況下,盡可能提高環境濕度防止靜電積累。
4.6.2.4 ??????在?EPA?內,儀器設備、工裝夾具均應采取防靜電措施,確認不會對ESDS?產品造成損害后方?可使用。
4.6.2.5 ??????EPA內防靜電接地系統(包括防靜電裝備、用品的接地)應定期檢驗。
4.6.2.6 ??????EPA內應配置經周期計量檢定合格的溫濕度計,靜電測量儀器(非接觸式靜電電壓表,人體綜?合電阻測量儀、高阻測量儀、接地電阻測量儀、各類電阻測試電極等)以便監控。
4.6.3??包裝
在 EPA?內,一次性使用的防靜電包裝不允許重復使用。破裂、粉化、脫落、有腐蝕性的防靜電包 裝不允許使用。對易受靜電場感應損壞的產品,應使用防靜電和射頻屏蔽包裝。所有文件資料和非防靜
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電用品均應放置在防靜電包裝內進行交換和放置。包裝類用品的使用應符合GJB/Z86-1997????中5.4的要?求。
4.6.4??人體靜電防護
4.6.4.1 ??????凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作服(頭戴防靜電帽)、穿防靜電鞋。根據是否接觸?ESDS 產品正確的選用工作服。在進入EPA?前穿戴防靜電工作服和鞋(束)。離開EPA?后才允許更換工作服和?鞋(束)。工作服、鞋的使用應符合相關標準要求。
4.6.4.2 ??????凡與 ESDS??產品接觸的人員必須佩戴防靜電腕帶并與人手腕緊密接觸并與防靜電接地線相?連。嚴禁沒佩戴腕帶接觸ESDS?產品。
4.6.4.3??有潔凈要求時,應佩戴防靜電手套或指套進行操作。
4.6.5??離子靜電消除系統(器)
4.6.5.1??使用靜止型放射性靜電消除器時,輻射強度、劑量與人員的安全防護規定必須符合國家標準?GB????9228-1988第4.4條安全規定。
4.6.5.2??離子靜電消除系統(器)的靜電消除性能應定期檢驗。達不到標準要求時,應及時檢修和更換?電離針等配件。靜止型放射性靜電消除器的靜電消除性能檢測和驗收應符合GB ???9228-1988第6章要求。
4.6.5.3??對于環境潔凈度要求很高場所,應使用光離子靜電消除系統(器)和其他達到要求的離子靜電?消除系統(器)。
4.6.5.4 ??????離子靜電消除系統(包括離子槍等)所用氣源凈化程度應符合?EPA?環境潔凈度相關規定。
4.6.6??操作
4.6.6.1 ??????手拿?ESDS?產品時應避免接觸其引線和接線端。操作時盡可能減少接觸ESDS?產品的次數。
4.6.6.2 ??????ESDS??產品在脫離防靜電包裝后但沒組裝前,懸空的端子宜用導電棒(夾具)或導電海綿作電?氣連接。
4.6.6.3 ??????禁止使用絕緣膠帶將ESDS?產品引線粘接在物體上。
4.6.7 ?????EPA驗收要求
新建或改建而成 EPA?在投入使用前應經過技術質量驗收。驗收工作由使用單位組織第三方質量檢 驗機構和相關人員,根據所建?EPA?的防靜電要求按第4章所列技術規定進行檢查和測量,確認其符合?要求后方可允許使用。檢查和測量的記錄應存檔。
軍事場所的EPA?可根據實際情況選擇執行。
4.7?????EPA?維護與檢查
對?EPA?的各項技術質量要求,必須定期檢查和檢測,以證實其各項性能符合本標準的規定。供檢?查和檢測的推薦性項目見表2。
表?2?EPA 技術性能與管理檢查項目
檢查頻次 | 章條號 | 項?日 名 稱 | 檢查方式 |
根據?實際?情況?確定 |
4 | EPA總體要求 | 檢查 |
4.1 | EPA內靜電電位 | 測量 | |
4.2 | EPA標記情況 | 目視 | |
4.3.1 | 環境溫度 | 測量 | |
4.3.1 | 環境濕度 | 測量 | |
4.3.2 | 環境潔凈度 | 測量 | |
4.3.3 | 環境電磁場 | 測量 | |
4.4.1 | 接地系統狀況 | 目視和測量 | |
4.4.1.1 | 防雷要求 | 目視和測量 |
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表2(續)
檢查頻次 | 章條號 | 項?日?名?稱 | 檢查方式 |
根據?實際?情況?確定 |
4.4.2 | 地線接地電阻 | 測量 |
4.5.2 | 工作臺(桌)面對地系統電阻 | 測量 | |
4.5.3 | 地坪、地板(地墊)系統電阻 | 測量 | |
4.5.4 | 佩戴腕帶時系統電阻(人體對地電阻) | 測量 | |
4.5.5 | 座椅和運轉車對地系統電阻 | 測量 | |
4.5.6 | 離子靜電消除器和系統消除靜電性能 | 測量 | |
4.5.7 | 手套、指套、帽、工具防靜電性能 | 測量 | |
4.5.8 | 墻壁、天花板系統電阻 | 測量 | |
4.5.9 | 工位器具、存放架、物流傳遞器具防靜電性能 | 測量 | |
4.5.10 | 防靜電劑(蠟、膠)防靜電性能 | 測量 | |
4.5.11 | 工位傳輸帶對地系統電阻 | 測量 | |
4.5.12 | 工作服、窗簾防靜電性能 | 測量 | |
4.5.13 | 防靜電包裝使用要求 | 檢查 | |
4.5.13 | 包裝防靜電性能 | 測量 | |
4.5.14 | EPA靜電源檢測 | 測量 | |
4.5.14 | 電氣設備(儀器、電動工具、氣動工具)、焊接設備、?吸錫器接地情況 | 測量和日視 | |
4.6.1 | 人員培訓 | 檢查 | |
4.6.2 | 靜電源控制 | 檢查 | |
4.6.3 | 防靜電鞋(束)性能 | 測量 | |
4.6.4 | 服裝、鞋、手套、指套、腕帶、帽穿戴情況 | 目視 | |
4,6.4 | 人體防靜電用品的使用要求 | 檢查 | |
4.6.5 | 離子靜電消除系統(器)的使用要求 | 檢查、測量 | |
4.6.7 | EPA驗收 | 檢查 | |
4.7 | EPA維護 | 檢查 |
4.8??管理規程
應制定出詳細的規程,包括各種防靜電操作工藝、防靜電裝備(用品)使用條例、人員培訓考核制度、?EPA?防靜電驗收檢測規范、管理規范等并制度化,供?EPA?內人員作為工作指南使用。
5??防靜電裝備、用品配置說明
EPA內各類防靜電裝備、用品的種類與數量的配置,應根據實際要求確定。對于完成臨時性的現場?修理任務,可創建一個臨時性的EPA, ?其包括必備的人體防靜電用品、防靜電臺墊、防靜電維修工具和?包裝、防靜電接地(可根據實際確定)等并進行等電位連接。
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